这项技术的扩瞳技术,设计较为复杂。设计时要充分考虑杂散光,人眼兼容性,各项性能指标。除此之外,均匀性也是最终用户体验的直观指标,如何控制多个膜层的反射和透过率,如何整机优化,如何控制镀膜工艺,才能保证整个眼动范围内的均匀性,也是研究的重点。为此珑璟光电自研偏振阵列波导设计软件工具箱,使波导片的设计更加智能化(一键设计)。工艺上自主研发光学加工工艺,使性能和成本均占有优势。图 6(a)所示为珑璟光电偏振阵列波导3D仿真光路图。图 6(b)所示为我司的一款偏振阵列波导产品图。
(a)
(b)
(c)
图6:
(a)珑璟光电偏振阵列波导3D光路图;
(b)珑璟光电偏振阵列波导产品;
(c)珑璟光电偏振阵列波导产品实际效果图。
[1]. Wenjun Zhang, Zhifeng Wang, and Jian Xu, "Research on a surface-relief optical waveguide augmented reality display device," Appl. Opt. 57, 3720-3729 (2018)
[2]. Miaomiao Xu, Hong Hua, "Ultrathin optical combiner with microstructure mirrors in augmented reality," Proc. SPIE 10676, Digital Optics for Immersive Displays, 1067614 (21 May 2018)
3、浮雕光栅波导方案
浮雕光栅波导方案即为使用浮雕光栅(SRG)代替传统的折反射光学器件(ROE)作为波导方案中耦入、耦出和出瞳扩展器件。常用的浮雕光栅主要有一维光栅,其包括倾斜光栅、梯形光栅、闪耀光栅和矩形光栅结构等,图 7(a)所示为倾斜光栅得扫描电镜(SEM)图。二维光栅,如波导中常用的六边形分布的圆柱光栅结构,图 7(b)所示为二维圆柱光栅结构的SEM图。以上光栅结构的特征尺寸均为纳米级。所以目前浮雕光栅波导的路线主要有:基于一维光栅的浮雕光栅波导方案,原理图如图 8(a)所示,分为耦入、转折和耦出区域,三个区域均采用一维光栅,并在转折区域和耦出区域分别进行一个方向的扩展,代表产品为HoloLens。基于二维光栅的浮雕光栅波导方案,原理图如图 8(b)所示,分为耦入和耦出区域,耦入区域经典结构为一维光栅,耦出区域结构为二维光栅,使用二维光栅结构的多个级次,同时保证光束的耦出和多个方向的扩展,代表公司为WaveOptics。图 8(c)是二维光栅波导得K域图,内圈代表波导片中得全反射条件,外圈代表波导片材料所可以达到得最大K值,耦入光栅将光束的K值平移到环形区域,即使得光束满足在波导片内全反射传播得条件,耦出光栅将部分光束的K值从环形区域平移到内圈区域,即使得光束耦出到人眼。
图 9(a)所示为珑璟光电设计的第一代浮雕光栅波导,采用的二维光栅波导方案,珑璟光电具有自主知识产权的浮雕光栅波导也正在开发完善中。如图 9(b)和图 9(c)所示分别为我司做的基于两种浮雕光栅波导原理的场追迹仿真结果。
图10(a)为微软最新的Hololens2的效果图[4],图10(b)为WaveOpics衍射波导得效果图[5],图10(c)为Dispelix衍射波导得效果图[6]。这三家公司是目前国外浮雕衍射波导方面的代表性公司。
浮雕光栅波导使用光刻工艺加工晶圆作为母版,并使用纳米压印工艺进行大规模的复制量产详见后文所述。
(a)
(b)
图7:
(a)倾斜光栅结构图;
(b)二维圆柱光栅结构图。
(a)
(b)
(c)
图8:
(a)一维光栅波导原理图;
(b)二维光栅波导原理图;
(c)二维光栅K域图。